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SiC晶圓薄化砂輪

SiC晶圓薄化砂輪

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SiC晶圓薄化砂輪

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產品特點

SiC晶圓薄化砂輪

性能參數

4&6inch sic晶圓的減薄加工

使用#2000DV 的砂輪對486inch SiC進行粗磨加工，使用#30000DV砂輪進行精磨加工

#30000DV減薄加工后晶圓表面(Zyg0公司白光干涉儀 NewView8200)




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