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岡本OKAMOTO SiC碳化硅/GaN氮化鎵晶圓減薄拋光一體機(jī)

GNX200BP

直接聯(lián)系

一橋半導(dǎo)體科技（蘇州）有限公司

日本

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)
參考報(bào)價(jià)：

面議

型號(hào)：

GNX200BP

關(guān)注度：

96

產(chǎn)品介紹

GNX200BH

1、GNX200BH是一臺(tái)可研磨超硬材料的全自動(dòng)減薄設(shè)備，采用大功率主軸和高剛性鑄件，可以大幅縮小加工公差。

2、GNX200BH在應(yīng)對(duì)SiC碳化硅晶圓、GaN氮化鎵晶圓等新型堅(jiān)硬材料為原材料的晶圓減薄/研磨/研削時(shí)表現(xiàn)優(yōu)秀。    

性能參數(shù)

項(xiàng)目GNX200BH
主軸雙研磨主軸，主軸剛性比200B強(qiáng)兩倍
工作盤三個(gè)工作盤
晶圓材質(zhì)碳化硅、氮化鎵、硅、玻璃、微機(jī)械系統(tǒng)、等…
主軸電機(jī)功率6.7KW
設(shè)備尺寸（本體）1350 W x 2550 D x 1845 H（mm）
設(shè)備尺寸（真空泵）397 W x 755 D x 612 H （mm）
設(shè)備重量本體 4300 Kg ; 真空泵 100 Kg

產(chǎn)品咨詢

岡本OKAMOTO SiC碳化硅/GaN氮化鎵晶圓減薄拋光一體機(jī)

GNX200BP

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