粉體行業在線展覽
INSPECTRA
面議
INSPECTRA
89
光學系統陣容多樣:可提供 BF(明場)/DF(暗場)/DIC(微分干涉對比)/ 特殊光學系統。
檢測工具:具備 AI-ADC 功能、多種數據輸入 / 輸出接口、檢測結果分析系統及配方共享功能。
特殊晶圓適配:支持薄晶圓 / 翹曲晶圓檢測,可適配面板檢測。
類型:硅晶圓、化合物晶圓、玻璃等
目標缺陷尺寸:>0.5 微米
檢測 throughput(產能):>200 片 / 小時
熱絲CVD金剛石膜沉積設備HF450
XRD-晶向定位
CVD 真空化學氣相沉積設備
等離子體增強化學氣相沉積系統CVD
BTF-1200C-RTP-CVD
自動劃片機
FM-W-PDS
Gasboard-2060
等離子化學氣相沉積系統-PECVD
Pentagon Qlll
定制-電漿輔助化學氣相沉積系統-詳情15345079037