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12吋薄膜沉積設(shè)備 PECVD-ZARVIS

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盛吉盛

型號(hào)：

12吋薄膜沉積設(shè)備 PECVD-ZARVIS

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產(chǎn)品介紹

ZARVIS應(yīng)用于邏輯和存儲(chǔ)客戶的多個(gè)節(jié)點(diǎn)制程，優(yōu)良的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)使腔體有高真空的密閉環(huán)境，工藝氣體分布均勻，等離子體穩(wěn)定，高效率RPS（Clean）和均勻的加熱功能等特點(diǎn)。

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12吋薄膜沉積設(shè)備 PECVD-ZARVIS

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