粉體行業(yè)在線展覽
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PRISMO A7? MOCVD設(shè)備
直接聯(lián)系
中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司
上海
面議
中微公司
PRISMO A7? MOCVD設(shè)備
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中微具有自主知識產(chǎn)權(quán)的MOCVD設(shè)備PRISMO A7?可配置多達4個反應(yīng)腔，可以同時加工136片4英寸晶片或56片6英寸晶片，工藝能力還能延展到生長8英寸外延晶片。每個反應(yīng)腔都可以獨立控制，這一設(shè)計可以實現(xiàn)優(yōu)異的生產(chǎn)靈活性。
可獨立控制的反應(yīng)腔運行模式
自主的實時監(jiān)控系統(tǒng)
精準的參數(shù)控制
全自動化處理
符合半導(dǎo)體標準的軟件控制系統(tǒng)
Plasma Scrubber等離子式廢氣處理設(shè)備
VOC凈化設(shè)備
Preforma Uniflex? CW
PRISMO UniMax? MOCVD設(shè)備
PRISMO HiT3? MOCVD設(shè)備
PRISMO A7? MOCVD設(shè)備
PRISMO D-BLUE?MOCVD設(shè)備
Primo Twin-Star? 12 英寸刻蝕設(shè)備
Primo nanova?12英寸刻蝕設(shè)備
Primo TSV? 高性能、高產(chǎn)能的深硅刻蝕設(shè)備
Primo HD-RIE?新一代電介質(zhì)刻蝕產(chǎn)品
Primo iDEA?雙反應(yīng)臺刻蝕除膠一體機
熱絲CVD金剛石膜沉積設(shè)備HF450
XRD-晶向定位
CVD 真空化學氣相沉積設(shè)備
等離子體增強化學氣相沉積系統(tǒng)CVD
BTF-1200C-RTP-CVD
自動劃片機
FM-W-PDS
Gasboard-2060
等離子化學氣相沉積系統(tǒng)-PECVD
Pentagon Qlll
定制-電漿輔助化學氣相沉積系統(tǒng)-詳情15345079037
