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>Primo Twin-Star? 12 英寸刻蝕設備

Primo Twin-Star? 12 英寸刻蝕設備

Primo Twin-Star? 12 英寸刻蝕設備

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中微半導體設備（上海）股份有限公司

上海

產品規格型號
參考報價：

面議

品牌：

中微公司

型號：

Primo Twin-Star? 12 英寸刻蝕設備

關注度：

110

產品介紹

產品特點

雙反應臺腔體設計

低電容耦合3D線圈設計

高抽速大容量渦輪泵

雙通道進氣

精密的腔體溫控和RF窗口溫控系統

先進的高致密性、耐等離子體侵蝕涂層工藝多區動態溫控靜電吸盤

13兆赫或400千赫脈沖偏壓系統

可選的集成除膠反應腔

競爭優勢

離子濃度和離子能量獨立可控

高排氣量和更寬的工藝窗口

優秀的刻蝕均勻性

優異的高深寬比刻蝕性能

高生產效率，低生產成本（CoO）


產品咨詢

Primo Twin-Star? 12 英寸刻蝕設備

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