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LD-200A緊湊型原子層沉積設(shè)備
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澤鴻半導(dǎo)體設(shè)備科技（蘇州）有限公司
江蘇
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LD-200A緊湊型原子層沉積設(shè)備
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緊湊型原子層沉積設(shè)備，用于基板表面沉積各種薄膜(氧化鋁，氧化硅等)，滿足2-8inch 科研、生產(chǎn)工藝需求。
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