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產(chǎn)品應(yīng)用：

主要用于大尺寸、高品質(zhì)單晶/多晶金剛石的生產(chǎn)制造。

主要優(yōu)勢：

該產(chǎn)品采用全新一代碟形腔設(shè)計(jì)，是目前國內(nèi)**大規(guī)模應(yīng)用的碟形腔式方案，經(jīng)過多年的研發(fā)攻關(guān)及技術(shù)積累，實(shí)現(xiàn)了2450MHZ 和 915MHZ 兩大系列全覆蓋，系列產(chǎn)品包括 DiaCentre-6K-D、DiaCentre-10K-D、DiaCentre-36K-D、DiaCentre-50K-D、DiaCentre-75K-D等。經(jīng)過批量應(yīng)用驗(yàn)證表明，該裝備具有成熟、可靠性高、批量致性好、腔體易潔操作、可避免石英刻蝕污染、等離子體覆蓋面積大的突出特點(diǎn)。