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離子束濺射沉積系統

定制-離子束濺射沉積系統

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廈門毅睿科技有限公司

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品牌：

毅睿/芯壹方

型號：

定制-離子束濺射沉積系統

關注度：

361

產品介紹

離子束濺射沉積系統



Description:

●低壓濺鍍沉積(10-4Torr)

●高質量、平滑、無針孔無針孔薄膜

●可實現<+/-3%的均勻沉積

●增強的附著力和微觀結構控制

●**的覆蓋效果高寬比特征

●獨立控制離子束參數，使用戶能夠設計薄膜以獲得所需的特性

●低能量離子輔助端霍爾離子源



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