粉體行業在線展覽
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8/12寸激光開槽設備
直接聯系
蘇州鐳明激光科技有限公司
江蘇
面議
鐳明激光
8/12寸激光開槽設備
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隨著芯片集成度的不斷提高，線寬越做越小，Rc時延、串擾噪聲等成了突出的問題，當工藝需求線寬小于65nm時,必須采用低介電常數Lon-k層解決以上問題，由于難以使用普通的金剛石磨輪片進行切割加工，所以有時無法達到電子元件廠家所需求的加工標準。為此，蘇州鐳明激光科技有限公司的工程師開發了可解決這種問題的加工應用技術。
產品基本信息
適用產品:硅襯底LOW-K晶圓/GAN晶圓等
適用產品尺寸:8寸、12寸
激光器:紫外納秒走制激光器或皮秒激光器切割深度:>10mm
切割精度:≤2um
加工方式:半自動/全自動切換
適應切割寬度:10~140um
XRD-晶向定位
CVD 真空化學氣相沉積設備
等離子體增強化學氣相沉積系統CVD
自動劃片機
BTF-1200C-RTP-CVD
FM-W-PDS
Gasboard-2060
Pentagon Qlll
等離子化學氣相沉積系統-PECVD
定制-電漿輔助化學氣相沉積系統-詳情15345079037
