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主要優(yōu)勢

高速電鍍銅同時實現(xiàn)更好的均勻化控制

水平式電鍍腔體，無交叉污染

可單腔體維護，提高設備正常運行時間（up time）

Rubber Seal 技術, 更好的密封性能

第二陽極技術,更好地控制均一性

靈活的工序控制

特性和規(guī)格

兼容8寸和12寸

*多可配至3個Load Port

*多可配至4種預濕腔體，真空控制

*多可配至4 個清洗腔體

*多可配至20個電鍍腔體: Cu,Sn/Ag, Ni

設備尺寸: 2250 x 7100 x 2900 mm

工藝性能：
片內均一性: <5% (**-*小/2 平均)
片間均一性＜3%
重復性: <3%
COP: < 10 μm