主要優(yōu)勢

具有高產(chǎn)、可靠和穩(wěn)定的性能。通過高精度的溫度控制技術(shù)、良好的均勻性和小顆?？刂?，來保持優(yōu)異的薄膜質(zhì)量；

通過更高性能的增強設(shè)計實現(xiàn)高產(chǎn)能，并減少停機維護時間；

運用氣體對腔體進行干法清洗，來控制小顆粒雜質(zhì)；

裝載區(qū)運用低氧控制技術(shù)以抑制晶圓表面的自然氧化。

特性和規(guī)格

可以一次性操作裝載的晶圓數(shù)量為50-125片（晶圓/批）

可配備快速升降溫控制系統(tǒng)

腔體原位干法清洗系統(tǒng)