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單片清洗設(shè)備

單片清洗設(shè)備

直接聯(lián)系

盛美半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司

美國(guó)

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)
參考報(bào)價(jià)：

面議

品牌：

盛美半導(dǎo)體

型號(hào)：

單片清洗設(shè)備

關(guān)注度：

1138

產(chǎn)品介紹

??

主要優(yōu)勢(shì)

清洗藥液獨(dú)立控制，無(wú)交叉污染

噴嘴藥液流量精確控制系統(tǒng)

較低的使用成本

優(yōu)秀的清洗效果

可應(yīng)用不同種晶圓清洗工藝，*終清洗，外延前清洗，CMP后清洗

高產(chǎn)能

對(duì)小顆粒的管控和金屬管控能力，19納米顆粒增加值<=30顆，金屬污染<=5E7 atmos/cm2


特性和規(guī)格

可適用于6寸、8寸或12寸晶圓清洗

*多可配置8套清洗腔體

*多可配置5種藥液進(jìn)行清洗工藝，RCA藥液，氫氟酸，臭氧水，去離子水等。

可對(duì)基板片，外延片的清洗工藝


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單片清洗設(shè)備

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