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鈣鈦礦太陽能電池磁控鍍膜設備JCPS600

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北京泰科諾科技有限公司

北京

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品牌:

北京泰科諾

型號:

鈣鈦礦太陽能電池磁控鍍膜設備JCPS600

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133

產品介紹

設備名稱:鈣鈦礦太陽能電池磁控濺射設備(鍍膜機+手套箱復合型)
設備型號:JCPS600
鍍膜方式:磁控濺射
真空腔室結構:SUS304方箱式,配有前、后門
真空腔室尺寸:L600×D600×H550mm
加熱溫度:室溫~300℃
基片臺尺寸:抽屜式:Φ320mm或210*210mm 可旋轉、升降
膜厚不均勻性:≤±5%(210mm×210mm范圍內)
蒸發源/濺射靶:4/6英吋靶:2-3只 DC/RF電源及偏壓電源
晶振膜厚監控儀:國產或進口(可選)
控制方式:PLC/PC控制(可選)
占地面積:L2100mm×W1300mm×H2100mm(不含手套箱)
總功率:≥15kW 三相五線制

特點用途.jpg


1.國內技術**、市場占有率**,設計優化,性能穩定,使用維護成本低;

2.適用于磁控濺射與手套箱環境有機融合,實現制備、封裝、測試等工藝無縫對接,廣泛用于鈣鈦礦太陽能電池 /OPV 有機太陽能電池及 OLED薄膜等研究系統等。

3.磁控主要是濺射氧化鎳,制備空穴層,濺射ITO制備透明電極,濺射Cu,制備背電極


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鈣鈦礦太陽能電池磁控鍍膜設備JCPS600

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