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SAB6110-全自動 超高真空常溫鍵合設備

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青禾晶元半導體科技(集團)有限責任公司

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青禾晶元

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SAB6110-全自動 超高真空常溫鍵合設備

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SAB6110是一款專為半導體及異質材料鍵合設計的量產型設備,采用常溫鍵合技術,在超高真空下實現材料表面原子級活化與直接鍵合,無需加熱即可形成高強度共價鍵。設備支持全尺寸兼容,配備自動化上料、獨立鍍膜腔體及高精度對準系統,工藝穩定且產能高效。

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SAB6110-全自動 超高真空常溫鍵合設備

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