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>SAB8310CW-全自動 C2W TCB鍵合設(shè)備

SAB8310CW-全自動 C2W TCB鍵合設(shè)備

SAB8310CW-全自動 C2W TCB鍵合設(shè)備

直接聯(lián)系

青禾晶元半導體科技（集團）有限責任公司

天津

產(chǎn)品規(guī)格型號
參考報價：

面議

品牌：

青禾晶元

型號：

SAB8310CW-全自動 C2W TCB鍵合設(shè)備

關(guān)注度：

159

產(chǎn)品介紹

SAB8310CW是一款全自動的C2W倒裝（對準熱壓）鍵合設(shè)備，適用于批量化生產(chǎn)。芯片和晶圓可自動上下料，具備獨立的氫自由基甲酸催化表面活化和等離子體活化腔，可實現(xiàn)高質(zhì)量的Fluxless TCB鍵合。

  • 項目

    指標

  • 壓力范圍

    1-3000N

  • 控壓穩(wěn)定性

    1~50N:±0.5N
    51~3000N:±2N

  • Wafer尺寸

    8/12 inch兼容

  • 壓頭控溫范圍

    RT~450℃

  • 壓頭控溫穩(wěn)定性

    ±0.5℃

  • 壓頭升溫速率(RT-450℃)

    6s@50*50mm; 2s@32*32mm

  • 鍵合后精度

    ≤±2μm；≤±1μm；≤±500nm

  • 活化腔氣氛

    氫自由基活化、等離子體活化

  • 鍵合腔氣氛

    惰性氣氛


產(chǎn)品咨詢

SAB8310CW-全自動 C2W TCB鍵合設(shè)備

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SAB8310CW-全自動 C2W TCB鍵合設(shè)備 - 159
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