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SAB9500-半自動 超原子束拋光機

SAB9500-半自動 超原子束拋光機

直接聯系

青禾晶元半導體科技（集團）有限責任公司

天津

產品規格型號
參考報價：

面議

品牌：

青禾晶元

型號：

SAB9500-半自動 超原子束拋光機

關注度：

180

產品介紹

SAB9500是一款半自動的超原子束拋光機，可利用超原子束對2-12寸晶圓或不規則樣品進行超精密表面拋光，可加工材料包括Si、SiC、InP、GaAs、GaN、金剛石、LN、LT、光學晶體等。

2-12寸及不規則樣品兼容晶圓尺寸

  • 項目

    指標

  • 晶圓尺寸

    2-12寸及不規則樣品

  • 上料模式

    手動上下料

  • 傳輸系統

    手動/定制工裝

  • 去除效率

    60keV：800 ?*cm2/s@SiO2
    20keV ：40 ?*cm2/s@SiO2

  • 支持工藝氣體

    Ar/SF6/O2/He或其他混合氣體

  • 束流強度

    ＞100μA @Ar

  • 束斑尺寸

    半高寬<10mm


產品咨詢

SAB9500-半自動 超原子束拋光機

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