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等離子去膠機

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上海載德半導體技術有限公司

韓國

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1123

產品介紹

產地:美國,韓國;

型號:PS-100, EURA-100;

等離子去膠機主要用于光刻膠的剝離或灰化,也可用于:

1.有機及無機殘留物的去除

2. 去除殘膠以及等離子刻蝕的應用

3.清洗微電子元件、電路板上的鉆孔或銅線框架

4.提高黏附性,消除鍵合問題

5.塑料的表面改性:O2處理以改進涂覆性能

6.產生親水或疏水表面等

主要配置

1.載片(Wafers):直徑不大于100 mm(200mm)的各種基片

2.工藝氣體(Gas lines)O2, N2

3.射頻源(Source)50 500W(13.56 MHz)連續可調,全自動匹配

4.氣體流量(Gas flow)MFC精確調控

5.產能:每次20片,每個循環約5分鐘(輝光1分鐘)

6.可升級到反應離子蝕刻(RIE)功能

參考用戶

廣東工業大學等;

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