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A5-SR系列顯微式反射式膜厚測量儀

A5-SR系列顯微式反射式膜厚測量儀

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昆山勝澤光電科技有限公司

江蘇

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品牌：

昆山勝澤

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A5-SR系列顯微式反射式膜厚測量儀

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16

產品介紹

A5-SR系列顯微式反射式膜厚測量儀可用于測量半導體鍍膜。具體包括但不限于氧化硅，氮化硅，多晶硅，PI，光刻膠等透明半透明的材料，測量范圍在20納米到30微米。光斑小于40微米。A5-SR系列可根據客戶給出的Die分布圖和標記，對整個硅片進行自動尋找，自動測量。

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A5-SR系列顯微式反射式膜厚測量儀

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