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A3-SRmapping系列在線膜厚檢測系統

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昆山勝澤

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A3-SRmapping系列在線膜厚檢測系統

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1)和材料有關

2)測量基于Si02on si結構

3)測量基于對于500納米Si02onSi結構，重復30次的1階標準偏差

4)對于Si02on Si標準樣品，每天測三次，取平均值，重復30天取1階標準偏差

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A3-SRmapping系列在線膜厚檢測系統

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