材料類型

220nm - 2500nm

中等純度石英（天然或合成）

高純度石英（可能為合成或熔融石英）

高硼硅玻璃（含硼氧化物）

主要成分

SiO?（>99.99%）

SiO?（>99.9%）

SiO?（>99.9%）

SiO?（約81%）、B?O?（約13%）

羥基含量

高（約1000 ppm）

低（約200 ppm）

低（通常<10 ppm）

低（<10 ppm）

熱膨脹系數

0.55 × 10?? /K（極低膨脹）

0.55 × 10?? /K（極低膨脹）

熱膨脹系數低

3.25 × 10?? /K（低膨脹）

耐熱性

極高（軟化點約1700°C）

極高（軟化點約1700°C）

極高，耐高溫

較高（軟化點約820°C）