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>W-150A/B-6K 微波等離子化學氣相沉積系統

W-150A/B-6K 微波等離子化學氣相沉積系統

W-150A/B-6K 微波等離子化學氣相沉積系統

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鉑世光(上海)技術有限公司

上海

產品規格型號
參考報價:

面議

品牌:

鉑世光

型號:

W-150A/B-6K 微波等離子化學氣相沉積系統

關注度:

802

產品介紹




系統特點:
·采用方位換向對稱方式微波耦合,來提高微波的均勻性
·穩定沉積面積20cm2
·**功率達到6KW
·使用純凈的石英窗
·采用不銹鋼反應腔,能耐高溫
·高壓力控制,產生高密度單模式等離子體
·使用高精度氣體質量流量計,高可靠性穩定的壓力控制系統
·穩定的微波輸入






應用:
·寶石
·復合熱沉片
·精密加工刀具刀頭
·紅外光學窗口
·量子傳感器/NV色心量子器件
·功率電子器件
·高增益激光器
·高純電化學電極
·納米金剛石材料
·第四代半導體材料


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W-150A/B-6K 微波等離子化學氣相沉積系統

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