粉體行業在線展覽
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團簇式OLED真空蒸鍍工藝裝備
直接聯系
鵬城微納技術（沈陽）有限公司
沈陽
面議
鵬城微納
團簇式OLED真空蒸鍍工藝裝備
1161
團簇式OLED真空蒸鍍工藝裝備是自主“OLED真空蒸鍍工藝裝備”，是“卡脖子”的35項關鍵技術的第六項。項目技術團隊已完成G1(1代線) 和G2.5（2.5代線）的研發設計和生產制造。
項目技術團隊已經解決了大部分關鍵技術問題（如：源爐技術、精準對位技術（對位精度達到1.5μm）、精密蒸鍍電源技術、原位膜厚測量技術、高真空傳遞機械手、電控系統及自動化控制軟件等）。
公司可對外承接OLED的G1和 G2.5工藝線的設計制造。
技術指標
| 指標 | 參數 |
|---|---|
| 對位精度 | CCD精密對位≤1.5 υm，機械對位≤150 υm |
| 膜厚均勻性和重復 | ±2% |
| 總體技術路線 | 采用Cluster方案 |
| 工藝流程 | 設計-審核-外協-組裝-電氣安裝-調試-出廠 |
設備構成
應用領域
可廣泛用于OLED器件開發、量子點開發、薄膜太陽能電池器件研發、OLED微顯示的研發和生產、OLED材料驗證、VR（Micro-oled虛擬現實）、OLED照明等。
團簇式OLED真空蒸鍍工藝裝備
金剛石散熱晶圓片
分子束外延薄膜生長設備(MBE)
MOCVD 金屬有機化學氣相沉積設備
PECVD 等離子體增強化學氣相沉積設備
LPCVD 低壓化學氣相沉積設備
HFCVD 熱絲化學氣相沉積設備
高真空電子束蒸發鍍膜機
高真空電阻熱蒸發鍍膜機
高真空磁控濺射儀
化合物半導體
XRD-晶向定位
CVD 真空化學氣相沉積設備
等離子體增強化學氣相沉積系統CVD
自動劃片機
BTF-1200C-RTP-CVD
FM-W-PDS
Gasboard-2060
Pentagon Qlll
等離子化學氣相沉積系統-PECVD
定制-電漿輔助化學氣相沉積系統-詳情15345079037
