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一、裝備介紹

  微波等離子體設(shè)備是在常壓或低真空情況下，通過(guò)微波等離子發(fā)生器對(duì)反應(yīng)腔內(nèi)工藝氣體，施加微波電磁能量，使氣體產(chǎn)生等離子體，對(duì)氣體進(jìn)行熱解和高度電離，同時(shí)特殊氣體經(jīng)過(guò)等離子電離后，利用等離子的特性，作用于產(chǎn)品表面，提高表面活性，增加附著性能的目的。微波等離子體設(shè)備操作簡(jiǎn)單、安全可靠、自動(dòng)化程度較高。

二、特點(diǎn)

1、一定條件下，能使尾氣高度電離和離解，設(shè)備安全可靠；

2、等離子設(shè)備氣壓范圍內(nèi)較寬，可獲得氣體的等離子化；

3、無(wú)內(nèi)部電極，消除氣體污染和電極腐蝕；

4、氣體微波等離子體化產(chǎn)生不帶高壓，微波輻射易防護(hù)；

5、設(shè)備自動(dòng)點(diǎn)火，操作簡(jiǎn)單、安全可靠；

6、氣體參數(shù)變化范圍較大，為廣泛應(yīng)用提供可能性。

三、應(yīng)用

1、微波等離子火炬技術(shù)，應(yīng)用于工業(yè)尾氣的處理，及材料高溫?zé)Y(jié)；

2、微波等離子體化學(xué)氣相沉積（MPECVD）:制備單晶、多晶金剛石，制備SiC、寶石、切削刀具等；