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適用晶片

4 inch、6 inch

拋光機(jī)下盤

尺寸

Φ872mm

材質(zhì)

不銹鋼盤&拋光墊

電機(jī)功率

7kw

轉(zhuǎn)速范圍

5～200rpm

*小轉(zhuǎn)速控制量

1rpm（觸摸屏中設(shè)定）

冷卻

水冷式冰水機(jī)（8P）

盤溫控制

0℃～50℃

修盤方式

人工調(diào)節(jié)，伺服自動(dòng)修盤

拋光機(jī)上盤

控制方式

2軸獨(dú)立控制，自動(dòng)停止加工

拋頭材質(zhì)

SUS410（可按客戶要求定做）

加壓氣缸

Φ100mm

壓力范圍

0～500kg

控制精度

±1kgf（觸摸屏中設(shè)定）

電機(jī)功率

0.75kw

轉(zhuǎn)速范圍

5～200rpm

*小轉(zhuǎn)速控制量

1rpm（觸摸屏中設(shè)定）

拋光液供應(yīng)系統(tǒng)

供給方法

循環(huán)泵（流量可以調(diào)節(jié)并實(shí)時(shí)監(jiān)控）

拋光液灌容量

20L（冷卻、攪拌）

供液位置

中心供液

補(bǔ)液方式

人工補(bǔ)液

陶瓷盤固定

半自動(dòng)上料裝置，陶瓷盤定位載具

去除率

具體視工藝及材料而定

設(shè)備尺寸

W2200mm * L2250mm * H2100mm

設(shè)備重量

約5000Kg