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儀器簡介：

ESPion高級朗繆爾探針（Advanced Langmuir Probes for Electrical Plasma Characterisation）可快速、可靠、精確地進行等離子體診斷，是***可靠的朗繆爾探針（Langmuir Probe）。

技術參數：

應用：

· 蝕刻/沉積/ 清潔等離子體

· 脈沖等離子體操作

· 離子密度 (Ni & Gi)

· 電子溫度(Te)

· 電子能量分布(EEDF)

· 電子密度(Ne)

· 等離子體電位

· Debye 長度，懸浮電位

主要特點：

· 獲得數據速度：每秒15次掃描，通過D-O-E-界面可以自動、半自動或手動分析

· Hiden在被動射頻補償方面處于**地位，在所有的商業化探針中 ESPion 具

有**的屏蔽阻抗(4.25Mohm at 13.56 MHz cf. 100kohm)

· 高溫等離子體操作時的氣體制冷多感應器鏈，使用者可調諧至其他頻率

· 參考探針補償用于抵制較低頻率影響，例如等離子體電位漂移(例如，反應室

內腔陽極氧化所致) 或噪音(例如，供電源引起)

· ESPion 是所有商業化探針中*快速的脈沖等離子體探針，ESPsoft 包括所有

必需的標準脈沖選通電路

· 300、600、915mm 自動線性驅動器可選，互鎖隔離閥， 90°探針，組合式

線性－旋轉驅動器可選

· 自清洗循環，防止探針尖端污染

· 經由RS232、RS485、Ethernet LAN 和 ESPsoft軟件控制