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特征概覽:

• 新設計的離子源使污染*小化，從而延長其使用壽命和提供更清楚的訊號
• 新型電子倍增器在PVD工藝壓強下提供更快速，清晰的數據收集和免除法拉第杯和電子倍增器的轉換，使數據一致性。
• 新型加長的四極桿場可提高低質量范圍的過濾能力，提高質譜儀分辨同位素的靈敏度，及改善對氫的檢測靈敏度
• 內置壓力傳感器（CDG），用于工藝壓強監測和提供聯鎖保護，有效延長燈絲使用壽命

應用：

• 高壓強真空系統（< 20毫乇）檢漏，氣體純度，污染檢測及制程工藝監控，涉及領域：傳統高壓強真空系統，半導體，平板顯示器及太陽能等行業PVD系統