粉體行業在線展覽
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直接聯系
Park帕克原子力顯微鏡
韓國
面議
545
專為超大納米平板掃描器測量而設計的自動化原子力顯微鏡系統
隨著對大型平板顯示器原子力顯微鏡計量需求的增加，Park NX-TSH 通過利用探針掃描器和龍門式氣浮臺的結合，克服了針對大型和重型樣品進行納米計量的巨大挑戰。
Park NX-TSH能獲得關于表面粗糙度，臺階高度，關鍵尺寸和側壁信息的高分辨率圖像和數據，從而為大型納米級尺寸樣品測量提供**解決方案。
• 可靈活掌握自動，半自動和手動模式
• 為每個自動化程序提供可編輯測量方法
• 實時監控測量過程
• 自動分析獲取測量數據
- 自動換針器（ATX）
ATX通過模式識別自動定位探針，并使用一種新的磁性方法來取放新舊探針。激光光斑通過電動定位技術自動對準。
-電離系統可提供更穩定的掃描環境
Park創新的電離系統可快速有效地去除樣品環境中的靜電荷。由于該系統始終生成并保持正負離子的理想平衡，因此可以創建一個極其穩定的電荷環境，幾乎不污染周圍區域，并且將在樣品處理過程中產品意外靜電的風險降至*低。
Park NX-TSH技術參數：
*本技術參數是可定制的。可咨詢Park原子力顯微鏡，以獲取更多信息。
系統技術參數：
樣品尺寸： 520 mm X 520 mm X12 mm， 10kg
電動式X方向載物臺：行程可達625 mm，±3 μm分辨率
電動式Y方向載物臺：行程可達525 mm，±3 μm分辨率
電動式Z方向載物臺：Z軸移動距離為25 mm， 0.08 μm分辨率，重復性<1μm
電動式對焦臺：Z軸行進光學距離為9 mm
COGNEX圖案識別：圖案校對分辨率為1/4像素
掃描器性能：
XY掃描范圍：100 μm ×100 μm
XY分辨率：0.15 nm
Z掃描范圍：15 μm
Z分辨率：0.016 nm
AFM和XY移動平臺控制器
ADC：18個頻道，4個高速通道，X，Y和Z位置傳感器(24-位ADC)
DAC:12個頻道，2個高速DAC通道，X，Y和Z的定位(20-bit DAC)
合規
CE認證：SEMI S2 / S8標準
設施要求
待機室溫：10°C?40°C
工作室溫：18°C?24°C
濕度：30％至60％（不凝結）
地板振動要求：VC-E（3微米/秒）
噪音：低于65 dB
氣動式：真空度：-80 kPa
CDA（或N2）：0.7 Mpa
電源額定值：208V-240 V，單相，17 A（**）
總耗電量：咨詢Park原子力顯微鏡
接地電阻：低于100歐姆
