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穩定性和敏感度的新疆界，檢漏低達10^-12毫巴·升/秒

英福康UL1000FAB移動式氦氣檢漏儀特別設計用于滿足半導體應用要求。

憑借工廠環境系統優先級中的簡單使用性、檢漏效率性和移動性，UL1000FAB氦氣檢漏儀提供在所有測量范圍中提供極快的漏率響應。通過結合高速氦氣抽吸和高進氣口壓強的**真空結構，UL1000FAB氦氣檢漏儀提供的****的漏率低達< 5×10^-12毫巴·升/秒。**軟件I-CAL（智能漏率計算法）讓您忘記在低漏率范圍檢漏時較長反應時間的煩惱，因為UL1000能夠對所有漏率范圍做出快速響應。

可選配的遙控器RC1000WL允許距離為100米時超過8小時的無線作業。該單元配置一個3.5″的豐彩觸摸顯示屏并具備直觀的操作特點。連接2個或多個檢漏儀的RC1000C有線型和無線遙控手柄用于完成產品組合。

使用額外的TC1000測試盒附件，UL1000FAB氦氣檢漏儀為密封產品提供簡單、快速、精確的測試，如IC包裝、石英晶體和激光器二極管（根據MilStd883，方法1014）。

特征概覽

• 15級的寬測量范圍
• 較短的抽氣和響應時間
• 移動式全金屬外殼為**可操作性提供了額外便利性
• I-CAL確保了所有測量范圍中泄漏的*快響應時間
• 抑零功能和自動積分時間校正提供快速、可靠的測試結果
• 含堅固耐用渦旋泵和多入口渦輪分子泵的智能型真空設計提供高速氦氣抽速和高壓縮比
• 旋轉式顯示器和用戶界面允許該單元的簡單、輕松控制和交互作用
• 自保護功能可防止UL1000Fab氦氣檢漏儀受到氦氣和微粒的污染
• 自動吹掃循環可確保隨時可用性
• 通過電子郵件進行軟件升級
• 含兩個燈絲離子源（3年質保）的耐用質譜系統確保了較長的運行時間和較低的維護成本
• 內部校準用的內置校準漏孔確保了精確的測試結果
• 內置軟件菜單“自動測漏”功能可使用TC1000測試盒執行密封部件的自動測試
• 可選RC1000遙控器

應用

• 半導體加工工具上的維護工作
• 工藝氣體系統的檢測和安裝
• 部件檢漏
• 需高泵抽速、高靈敏度和清潔測試條件的應用