粉體行業在線展覽
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LPCVD立式爐
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山東力冠微電子裝備有限公司
山東
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山東力冠
LPCVD立式爐
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半導體集成電路制造的重要設備之一，主要用于POLY, D-POLY, SiN,TEOS。
LPCVD equipment is one of the important equipments for semiconductor integrated circuit manufacturing,which is mainly used for the growth of LP-POLY,LP-DPOLY,LP-SiN，LP-TEOS thin films.
