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LPE(液相法)長晶爐

LPE(液相法)長晶爐 LPE900

直接聯系

豐港化學材料科技(張家港)有限公司

江蘇

產品規格型號
參考報價:

面議

品牌:

豐港化學

型號:

LPE(液相法)長晶爐 LPE900

關注度:

457

產品介紹

LPE(液相法)生長碳化硅具有晶體缺陷少、生長效率高、生長溫度低、節能、降低電耗等優點,可生長p型碳化硅晶體。

產品特點

可以生長超過6英寸的晶體

正壓設計,腔體壓力可達180 kPa,減少溶液揮發

腔體內壁拋光處理,減少附著力,實現高真空

兩級設計,方便保持腔內清潔

更精準的控壓技術,長晶工藝壓力波動<5Pa

雙加熱系統設計可在解決方案內提供更均勻的溫度場

籽晶軸、坩堝軸冷卻水流量可精確控制,溫度場更穩定

具有籽晶旋轉升降、坩堝旋轉、加熱線圈升降功能

籽晶旋轉和坩堝旋轉模式可編程,方便技術開發

獨特的工藝氣體引入設計,使工藝氣體可以直接傳遞到種子的背面

高精度傳動部件,重復定位偏差<10μm

自主開發的控制系統,豐富的公式編輯界面,操作權限分級,可遠程控制

技術參數

腔室內部尺寸Φ900×1200mm主加熱圈功率100kW熱場**直徑520mm**溫度2200℃籽晶提取速度處理速度:0.01-0.5mm/h

快速移動速度:6-300mm/min籽晶旋轉1-100rpm,旋轉模式可編程坩堝轉速1-100rpm,旋轉模式可編程卷材升降速度處理速度:0.01-5mm/h

快速移動速度:6-300mm/min電源接口3P 380VAC,112kVA

3P 380VAC,24kVA

3P 380VAC,15kVA氣源Ar、He、N2,壓力>0.2MPa

壓縮空氣、壓力0.4-0.6MPa冷卻水壓力0.3-0.5MPa

流量200L/min尺寸1800×1500×4400mm(不包括坩堝拆卸絞車和平臺)

4080×3050×4400mm(包括坩堝拆卸絞盤和平臺)重量4000kg


產品咨詢

LPE(液相法)長晶爐

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