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腔體合成爐

腔體合成爐

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沈陽中科漢達科技有限公司

遼寧

產品規格型號
參考報價:

面議

品牌:

中科漢達

型號:

腔體合成爐

關注度:

484

產品介紹

適用于碳化硅原料合成也可用于碳化硅晶體生長,采用中頻感應電源加熱方式,上取放料、坩堝軸快慢速移動。

技術參數

生長工藝

PVT

生長尺寸

6-8英寸

產品類型

非標定制

加熱方式

感應加熱(中頻感應加熱)

**溫度

2400℃

系統停泵關機12小時后真空度

≤5Pa

控制方式

PLC集成控制

系統極限真空度

≤7×10-5 Pa (經烘烤除氣后)

系統真空檢漏漏率

≤5.0×10-7 Pa.l/S

冷卻方式

循環水路系統

適用于碳化硅原料合成也可用于碳化硅晶體生長,采用中頻感應電源加熱方式,上取放料、坩堝軸快慢速移動。內壁氬弧焊接,內表面鏡面拋光,反射熱量,減少功率損耗,減少氣體附著。自主研發控制系統,實現自動化穩定、安全、操作便捷。適用于碳化硅原料合成也可用于碳化硅晶體生長,采用中頻感應電源加熱方式,上取放料、坩堝軸快慢速移動。內壁氬弧焊接,內表面鏡面拋光,反射熱量,減少功率損耗,減少氣體附著。自主研發控制系統,實現自動化穩定、安全、操作便捷。

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