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HVPE生長系統是自主研發的一臺功能強大，耐用，可靠的氣相外延生長系統，適用于大尺寸、高質量商業化GaN的同質/異質外延生產。內置新研發的控制系統和多溫區加熱系統，支持配方功能，方便工藝參數調用及儲存，設備結構簡單，操作方便，實用性強，能夠滿足大規模體塊GaN的商業化生產需求。