粉體行業(yè)在線展覽
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水平雙腔外延爐
直接聯(lián)系
杭州晶馳機電科技有限公司
浙江
面議
杭州晶馳
水平雙腔外延爐
995
產(chǎn)品詳情
1、水平雙腔布置,硬件成本低于兩臺單腔外延爐;
2、雙腔工藝和維護獨立,實現(xiàn)不停機連續(xù)生產(chǎn)；
3、兼容4/6寸晶圓外延生長,外延層質(zhì)量優(yōu)異;
4、全自動上下料，釋放人工成本;
DRY-60A型熱處理爐（電動）
水平雙腔外延爐
單腔立式外延爐
第二代碳化硅晶片腐蝕清洗設備
915MHz微波等離子體沉積系統(tǒng)(裂縫天線耦合)
裂縫耦合微波等離子體沉積系統(tǒng)
拋物面環(huán)形天線微波等離子體沉積系統(tǒng)
小圓柱式微波等離子體沉積（CVD）系統(tǒng)
