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真空爐一般由爐體、爐膛、電熱裝置、密封爐殼、真空系統、供電系統、控溫系統等組成。密封爐殼用碳鋼或不銹鋼焊成，可拆卸部件的接合面用真空密封材料密封。為防止爐殼受熱后變形和密封材料受熱變質，爐殼-般用水冷或氣冷降溫。爐膛位于密封爐殼內。根據爐子用途爐膛內部裝有不同類型的加熱元件，如電阻絲、硅碳棒、硅鉬棒、感應線圈、電較和電子槍等。熔煉金屬的真空爐爐膛內裝有坩堝，有的還裝有自動澆注裝置和裝卸料的機械手等。真空系統主要由真空泵、真空閥門和真空計等組成。

主要用于:冷熱作模具鋼、高速鋼、彈性合金、高溫合金、不銹鋼、鈦合金、磁性材料等材料的真空熱處理。

真空淬火: (回火、 退火)就是通過把材料或零件在真空狀態下按工藝規程加熱、冷卻來達到預期性能的一種處理方法。

真空釬焊:即在真空狀態下，把一組焊接件加熱到填充金屬熔點溫度以上,但低于基體金屬熔點溫度,借助于填充金屬對基體金屬的濕潤和流動形成焊縫的一種焊接工藝(釬焊溫度因材料不同而異)。

真空燒結:即在真空狀態下，把金屬粉末制品加熱，使相鄰金屬粉末晶粒通過粘著和擴散作用而燒結成零件的一種方法。

真空加磁:主要適用于金屬材料加磁處理。