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真空氣相沉積爐

HVCVD

直接聯(lián)系

上海哈騰電爐設(shè)備有限公司

上海

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)
參考報(bào)價(jià):

面議

型號(hào):

HVCVD

關(guān)注度:

3376

范圍(量程或細(xì)度):

--

應(yīng)用行業(yè):

本設(shè)備主要用于碳素制品的化學(xué)氣相沉積增密處理,或以碳?xì)錃怏w為碳源的材料表面或基體等溫CVD/CVI處理及碳?xì)种破氛婵仗蓟錈崽幚怼?/p>

產(chǎn)品介紹


  1. 設(shè)備用途

        本設(shè)備主要用于碳素制品的化學(xué)氣相沉積增密處理,或以碳?xì)錃怏w為碳源的材料表面或基體等溫CVD/CVI處理及碳?xì)种破氛婵仗蓟錈崽幚怼?/p>


   

  1. 設(shè)備特點(diǎn)

        1. 雙層SUS304爐體結(jié)構(gòu),中間通以冷卻水,有效降低爐體表面溫度,減少高溫傷害,降低對(duì)環(huán)境的影響;
        2. 采用先進(jìn)的保溫材料及隔熱結(jié)構(gòu),導(dǎo)熱系數(shù)低,保溫效果好,即使在很高的溫度下也能有效隔絕熱量,節(jié)約能耗;
        3. 能夠準(zhǔn)確控制氣體流量和壓力,通過(guò)特殊的導(dǎo)氣結(jié)構(gòu)和裝置,大大提高產(chǎn)品的合格率,降低沉積時(shí)間;
        4. 通過(guò)特殊的過(guò)濾裝置,使其熱解過(guò)程的碳粉幾乎完全過(guò)濾,不進(jìn)入真空機(jī)組,大大延長(zhǎng)了真空機(jī)組的使用壽命;
        5. 人性化配置,既可以手動(dòng)操作,也可以實(shí)現(xiàn)一鍵智能操作;
        6. 型式多樣化,立式上開(kāi)門(mén)、立式底升式、臥式側(cè)開(kāi)門(mén),任意選擇;
        7. 本產(chǎn)品接受非標(biāo)定制。


   

  1. 設(shè)備參數(shù)

型號(hào)

工作區(qū)尺寸
         D×H

**溫度
         ℃

溫度均勻性
         ℃

冷態(tài)極限真空度
         Pa

壓升率
         Pa/h

加熱功率
         Kw

HVCVD-2030

Φ200×300

1500

±5

50

3

25

HVCVD-2540

Φ250×400

1500

±5

50

3

40

HVCVD-3050

Φ300×500

1500

±5

50

3

55

注:以上技術(shù)參數(shù)可根據(jù)工藝進(jìn)行調(diào)整,不作為驗(yàn)收依據(jù),具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準(zhǔn)。


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真空氣相沉積爐

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真空氣相沉積爐 - 3376
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