壓電晶體生長爐

技術參數：

爐體內腔尺寸：φ800mm×1000mm

外形尺寸：1000mm×1000mm×2500mm

**長晶尺寸：6英寸

籽晶軸提拉行程：450mm

提拉運動*小線速度：0.01mm/hr

快速提拉速度：200mm/min

籽晶軸轉動速度：0.1～100r/min

稱重系統：稱重傳感器量程20kg；信號放大器顯示精度0.01g

控制軟件：提拉法等徑控制軟件，采用上稱重方法來控制晶體直徑，晶體形狀可隨意設計，PID及運動參數可隨晶體形狀過渡變化，屏幕上數據交叉顯示提供生長過程中數據綜合分析工具。

加熱電源：中頻感應加熱

加熱**輸出功率：30KW

真空系統：機械泵抽真空

水冷系統：爐腔、加熱線圈流量控制循環冷卻。