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PECVD系統(tǒng)

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直接聯(lián)系

鄭州科佳電爐有限公司

河南

產(chǎn)品規(guī)格型號
參考報價：

面議

品牌：

科佳電爐

型號：

PECVD系統(tǒng)

關(guān)注度：

1759

產(chǎn)品介紹

產(chǎn)品介紹:

該產(chǎn)品是由射頻電源、氣體質(zhì)子流量控制系統(tǒng)、襯底控溫系統(tǒng)、真空系統(tǒng)組成，適用于室溫至1200℃條件下進(jìn)行Si02、SiNx薄膜的沉積，同時可實(shí)現(xiàn)TEOS源沉積，Sic膜層沉積以及液態(tài)氣態(tài)源沉積其它材料，尤其適合干有機(jī)材料上高效保護(hù)層膜和特定溫度下無損傷鈍化膜的沉積。


產(chǎn)品咨詢

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鄭州科佳電爐有限公司

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