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導(dǎo)電特殊晶型

導(dǎo)電特殊晶型

直接聯(lián)系

江陰晶沐光電新材料有限公司

江蘇

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)
參考報(bào)價(jià):

面議

品牌:

晶沐光電

型號(hào):

導(dǎo)電特殊晶型

關(guān)注度:

272

產(chǎn)品介紹

產(chǎn)品規(guī)格書(shū)


碳化硅導(dǎo)電特殊晶型單晶襯底(6H-N/4H-P/6H-P/3C-N)

直徑

10*10 mm

50.8mm

100mm

厚度

350μm

350μm

350μm

晶型

6H-N ∣ 4H-P ∣ 6H-P ∣3C-N

表面晶向6H-N/4H-P/6H-P

Off axis: 0.0°- 8.0° toward <11-20>  ± 0.5°

表面晶向3C-N

On axis : <0001>±0.5°

電阻率6H-N/4H-P/6H-P

≤ 0.5 Ω ·cm

電阻率3C-N

≤ 1.0 mΩ ·cm

正面狀態(tài)

Si-Face:CMP,Ra<0.5nm

反面狀態(tài)

C-Face:Optical Polish,Ra<1.0nm

鐳刻碼面

Back side :C-Face

總厚度偏差TTV

≤5μm

≤10μm

≤15μm

彎曲度BOW

≤15μm

≤25μm

≤25μm

翹曲度WARP

≤30μm

≤30μm

≤40μm

?

產(chǎn)品性能表


碳化硅單晶 Silicon carbide

晶體結(jié)構(gòu)

六方晶體

禁帶寬度(eV)

3.26eV

熔點(diǎn)(℃)

2730℃

莫氏硬度(mohs)

9.2

熱導(dǎo)率(W·cm-1·℃-1)

4.9W·cm-1·℃-1

熱膨脹系數(shù)(℃-1)

4.7×10-6

晶格常數(shù)(nm)

a=0.3076 c=0.5048

電子遷移率(cm-2·V-1·s-1

720650c

擊穿電場(chǎng)(MV·cm-1)

3.1

JFM指數(shù)(power)

410

BFM指數(shù)(SW)

290

BHFM指數(shù)(RF)

34

折射率

2.6767~2.6480


產(chǎn)品咨詢(xún)

導(dǎo)電特殊晶型

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導(dǎo)電特殊晶型 - 272
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