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導電型單晶襯底

導電型單晶襯底

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江陰晶沐光電新材料有限公司

江蘇

產品規格型號
參考報價:

面議

品牌:

晶沐光電

型號:

導電型單晶襯底

關注度:

316

產品介紹

介紹:碳化硅襯底是第三代半導體材料,屬于寬禁帶半導體材料。碳化硅是由C和Si元素按1:1比例形成的Ⅳ-Ⅳ族化合物半導體材料,硬度僅次于金剛石。它具有高硬度、高熱導率、高擊穿電場等優異特性。

應用:新能源汽車領域:在電動汽車的電驅系統、車載充電系統(OBC)、車載DC/DC及非車載充電樁等組件中廣泛應用。例如在電動車逆變器中,使用4H-N型導電碳化硅晶片制成的功率器件,可使整車能耗更低、尺寸更小、充電更快、續航里程更長。

?產品規格書

碳化硅4H-N導電型單晶襯底(2~8英寸)

直徑

50.8mm

100.0mm

150.0mm

200.0mm

厚度

350μm

350μm

350μm

500μm

表面晶向

Off-Axis:4°toward <11-20>±0.5°

主參考面晶向

Parallel to <11-20>±1°

<1-100>±1°

主參考面長度

16.0mm

32.5mm

47.5mm

Notch

次參考面位置

Silicon face up: 90.0? CW from Primary ± 5.

N/A

N/A

次參考面長度

8.0mm

18.0mm

N/A

N/A

電阻率

0.014~0.028Ω?cm

正面狀態

Si-Face:CMP,Ra<0.2nm

反面狀態

C-Face:Optical Polish,Ra<0.5nm

鐳刻碼面

Back side:C-Face

總厚度偏差TTV

≤10μm

≤15μm

≤15μm

≤20μm

彎曲度BOW

≤25μm

≤30μm

≤40μm

≤60μm

翹曲度WARP

≤30μm

≤40μm

≤60μm

≤80μm

邊緣去除

≤3 mm

?

?產品性能表


碳化硅單晶 Silicon carbide

晶體結構

六方晶體

禁帶寬度(eV)

3.26eV

熔點(℃)

2730℃

莫氏硬度(mohs)

9.2

熱導率(W·cm-1·℃-1)

4.9W·cm-1·℃-1

熱膨脹系數(℃-1)

4.7×10-6

晶格常數(nm)

a=0.3076 c=0.5048

電子遷移率(cm-2·V-1·s-1

720650c

擊穿電場(MV·cm-1)

3.1

JFM指數(power)

410

BFM指數(SW)

290

BHFM指數(RF)

34

折射率

2.6767~2.6480


產品咨詢

導電型單晶襯底

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