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4英寸3C N型碳化硅襯底

4英寸3C N型碳化硅襯底

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杭州華創晶瑞科技有限公司

江蘇

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品牌:

華創晶瑞

型號:

4英寸3C N型碳化硅襯底

關注度:

374

產品介紹

液相法襯底產品介紹

         3C N型SiC具有更高的電子遷移率(3C-SiC,1100 cm2/V?s;4H-SiC,900 cm2/V?s),同時由于3C-SiC具有更小的禁帶寬度,可使器件在氧化層制備上具有更小的FN隧穿電流以及可靠性,能大幅度提高器件產品良率。

主要指標

晶型:3C    

 尺寸:50.8±0.38 mm   2英寸、4英寸、6英寸

非標尺寸:10*10mm,20*20mm,其它按需定制。           

厚度:350±25μm   

微管密度:<0.1 cm-2

電阻率≤0.0006 Ω?cm      


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4英寸3C N型碳化硅襯底

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