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磁流體真空傳動(dòng)裝置是把旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)傳入真空容器的一種部品解決方案，杜絕了氣體泄漏和污染，適用于對密封要求很高的場合。如今，在許多需要自由控制進(jìn)給的裝置上，真空傳動(dòng)裝置已得到廣泛應(yīng)用，如在硅生長、目標(biāo)位置電子指示器、濺射、等離子蝕刻、化學(xué)氣相淀積、離子移置技術(shù)、液晶再生過程中，減少了不必要的停機(jī)時(shí)間，具有特殊意義。