粉體行業(yè)在線展覽
粉體行業(yè)在線展覽
超高真空管道傳輸設(shè)備
直接聯(lián)系
合肥致真精密設(shè)備有限公司
安徽
面議
致真精密
超高真空管道傳輸設(shè)備
1048
生產(chǎn)型磁控濺射設(shè)備是針對(duì)生產(chǎn)企業(yè)實(shí)驗(yàn)室和產(chǎn)線研發(fā)的一系列高性能、高效率的磁控濺射裝備。MSI-200型磁控濺射設(shè)備采用多個(gè)真空腔室互聯(lián)的設(shè)計(jì)，通過Cluster內(nèi)置的三維機(jī)械手實(shí)現(xiàn)晶圓的傳輸，可搭配多個(gè)濺射室或處理腔室，適用于生產(chǎn)產(chǎn)線或?qū)嶒?yàn)線。
性能參數(shù)
晶圓尺寸 | 8吋向下兼容 |
| 極限真空 | 優(yōu)于5×10-10mbar |
| 對(duì)接口 | 每節(jié)管道可連接一套系統(tǒng)，對(duì)接口CF250及以下。 |
| 傳輸裝置 | 磁力傳輸，可同時(shí)傳輸多片 |
| 進(jìn)樣室 | 可選配獨(dú)立進(jìn)樣室 |
| 校準(zhǔn)裝置 | 光電傳感器 |
| 真空系統(tǒng) | 機(jī)械泵+分子泵，可選離子泵等 |
控制系統(tǒng) | PC+PLC 安全互鎖，碰撞保護(hù),真空互鎖等 |
觀察窗擋板
傾斜式高溫樣品臺(tái)
蒸發(fā)源
圓形互聯(lián)設(shè)備（外置機(jī)械臂、內(nèi)置機(jī)械臂）
兩個(gè)鍍膜系統(tǒng)直接互聯(lián)設(shè)備
超高真空管道傳輸設(shè)備
晶圓真空傳輸平臺(tái)—VTM
量產(chǎn)型磁控濺射設(shè)備—MSI-200
生產(chǎn)型磁控濺射設(shè)備—MSI-100-UHV
生產(chǎn)型磁控濺射設(shè)備—MSI-100-HV
量產(chǎn)級(jí)多功能薄膜沉積設(shè)備
分子束外延設(shè)備—MBE-400
