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東海耀碳素

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外延設備在現代半導體行業中是關鍵的一環，在LED關鍵設備MOCVD及化合物半導體外延設備中，東海碳素的碳化硅SiC及碳化鉭TaC涂層石墨盤被廣泛應用。

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