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該產(chǎn)品在使用功能上分為進氣插件和排氣插件，具備氣體特殊的導流功能，能使工藝過程中反應氣體的氣流在中心位置得到增加，從而增加了晶圓中心位置的摻雜濃，改善了整個晶圓面內(nèi)的摻雜均勻性。它可以保護半導體制造設備，使其免受腐蝕、磨損和其他因素的影響。這不僅可以提高設備的效率和壽命，還可以減少設備的維護和修理費用。