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用于半導體產業的石英儀器，對純度的要求更為苛刻，微量的雜質將給半導體材料的電機能和壽命以及集成度帶來嚴峻的影響。因為半導體材料的純度要求控制在ppb數目級以下，因此石英玻璃則應控制在PPm數目級以適應半導體產業的需要。