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>4-6寸盒式硅舟
4-6寸盒式硅舟
直接聯系
寧夏盾源聚芯半導體科技股份有限公司
寧夏
面議
盾源聚芯
947
盒式硅舟又叫cassette boat，是一種小型一體式硅舟，主要應用在4寸到6寸臥式高溫爐，適用于1250℃以下制程。
技術優勢
硅舟材質為高純硅產料，不存在表面沉積層，長期使用不會出現變形及表面材料脫落問題；
可長期保證硅舟不會出現本體污染；
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片材
硅錠
托盤
噴淋頭
聚焦環
Fin
硅管
拼接式基座
噴射管
8-12寸硅舟
略
高純石英砂1
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代加工的石英砂產品
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325-5000目
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