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型號：IBSH-1030

特點：

1、基板水平放置，垂直監控；

2、靶材左右移動，位置和速度可編程控制；

3、基板：12吋×1 或 6吋×4；

4、靶材：兩靶，三靶或四靶可更換；

5、多光路監控。

6、無膜厚分布修正板

工藝參數：

一，真空系統

1、極限真空度：4.0×10-5Pa 

2、抽至10Pa所用時間：≦ 10 分鐘

3、漏率： 3.0×10-5Pa m3/sec

二，控制精度

1、靶材旋轉：0.005°

2、工件旋轉:<1000RPM

3、編碼器: 12000lines;480000Counts/rev

4、膜厚修正板：0.005°

5、擋板:  position switch

三，光學監控系統OMS

1、波長范圍：380nm～1650nm

2、光源穩定性 :白光< 0.1%，激光< 0.02%

3、波長分辨率: 白光0.2nm，激光0.1nm

4、波長準確度: 白光0.2nm ，激光0.1nm