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ASML二手DUV光刻機(jī)

直接聯(lián)系

青島佳鼎半導(dǎo)體

山東

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)

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品牌：

佳鼎半導(dǎo)體

型號(hào)：

ASML二手DUV光刻機(jī)

關(guān)注度：

1052

產(chǎn)品介紹

TWINSCAN XT:450G 365-nm步進(jìn)式掃描系統(tǒng)是一種高生產(chǎn)率的雙級光刻工具，設(shè)計(jì)用于批量生產(chǎn)分辨率低至 220-nm 及以上的關(guān)鍵 i-line 應(yīng)用。TWINSCAN 平臺(tái)的雙晶圓臺(tái)技術(shù)使一個(gè)晶圓的曝光和下一個(gè)晶圓的對齊和映射能夠并行進(jìn)行，從而幾乎消除了開銷時(shí)間并允許對晶圓進(jìn)行連續(xù)圖案化。

此外，高強(qiáng)度 5.5 kW Hg 燈和快速臺(tái)通過*小化每個(gè)場的曝光掃描時(shí)間和場之間的步進(jìn)時(shí)間來確保**生產(chǎn)力。液位傳感器與 TWINSCAN 調(diào)平方法相結(jié)合，幾乎消除了內(nèi)部芯片和邊緣芯片之間的差異，并確保整個(gè) 300 毫米晶圓的高良率。高吞吐量和產(chǎn)量與快速的標(biāo)線交換時(shí)間和批量流式傳輸相結(jié)合，可提供*低的運(yùn)營成本。

該工具出色的疊加和成像功能允許將非關(guān)鍵 KrF 層轉(zhuǎn)換為 i-line，從而顯著節(jié)省成本。

獲取更多信息，請?jiān)L青島佳鼎半導(dǎo)體網(wǎng)站

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ASML二手DUV光刻機(jī)

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