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200 kV相差校正TEM/STEM，平衡了空間分辨率和傾斜、分析性能

通過單極片實現0.078 nm的STEM空間分辨率和高樣品傾斜度、高立體角EDX。

透射電子顯微鏡除了延續了日立公司配備的具有掃描透射電子顯微鏡“HD-2700”的球面像差校正器的功能、自動校正功能，像差校正后的SEM圖像和對稱Dual SDD技術等特點。還融匯了透射電子顯微鏡HF系列中所積累的技術。

對于包括高端用戶在內的廣泛用戶，我們提供亞?級空間分辨率和高分析性能以及更多樣化的觀察和分析方法。

特點：

標配日立生產的照射系統球差校正器（附自動校正功能）

搭載具有高輝度、高穩定性的冷場FE電子槍

鏡體和電源等的高穩定性使機體的性能大幅度提升

觀察像差校正SEM/STEM圖像的同時觀察原子分辨率SE圖像

采用側面放入樣品的新型樣品臺結構以及樣品桿

支持高立體角EDX*的對稱配置（對稱Dual SDD*）

采用全新構造的機體外殼蓋

配備日立生產的高性能樣品桿

選項

高輝度冷場FE電子槍×高穩定性×日立制球面像差校正器

以長年積累起來的高輝度冷場FE電子源技術為基礎，進行優化，進一步實現電子槍的高度穩定性。

此外，還更新了鏡體，電源系統和樣品臺，以支持觀察亞?圖像，并提升了機械和電氣穩定性，然后與日立公司的球差校正器結合使用。

不僅可以穩定地獲得更高亮度更精密的探頭，而且自動像差校正功能可以實現快速校正，從而易于發揮設備的固有性能。使像差校正可以更實用。

支持高立體角EDX*的對稱Dual SDD*

支持雙重配置100 mm2 SDD檢測器，以實現更高的靈敏度和處理能力進行EDX元素分析。

由于第二檢測器位于**檢測器的對面位置，因此，幾乎不會因為樣品傾斜，導致X射線中的信號檢測量發生變化。所以，即使是結晶性樣品，也不用顧忌信號量，可完全按照樣品的方向與位置進行元素分析。

此外，對于電子束敏感樣品、低X光輻射量的樣品，除了原子列映射，在低倍、廣視野的高精細映射等領域也極為有效。

像差校正SEM圖像/STEM圖像　同時觀察

配有標配二次電子檢測器，可同時觀察像差校正SEM/STEM圖像。通過同時觀察樣品的表面和內部結構，可以掌握樣品的三維構造。

在像差校正SEM圖像中，除了可以通過校正球差來提高分辨率之外，還可以獲取更真實地樣品表面圖像。